Tétrafluorure de silicium
- Tétrafluorure de silicium
-
| Tétrafluorure de silicium |
|
 
Structure du tétrafluorure de silicium |
| Général |
| Synonymes |
tétrafluorosilane |
| No CAS |
7783-61-1 |
| No EINECS |
232-015-5 |
| PubChem |
24556 |
| SMILES |
|
| InChI |
InChI : Vue 3D
InChI=1/F4Si/c1-5(2,3)4
|
| Apparence |
gaz incolore, d'odeur acre[1]. |
| Propriétés chimiques |
| Formule brute |
F4SiSiF4 |
| Masse molaire[2] |
104,0791 ± 0,0003 g·mol-1
F 73,02 %, Si 26,98 %,
|
| Propriétés physiques |
| T° fusion |
-90 °C |
| T° ébullition |
-86 °C |
| Solubilité |
dans l'eau : réaction[1] |
| Masse volumique |
1 660 kg·m-3 à -95 °C
4,681 kg·m-3 à 0 °C (gaz) |
| Point critique |
37,2 bar, -14,15 °C[3] |
| Propriétés électroniques |
| 1re énergie d'ionisation |
15,24 ± 0,14 eV (gaz)[4] |
| Cristallographie |
| symbole de Pearson |
 [5] |
| Classe cristalline ou groupe d’espace |
I43m (n°217)[5] |
| Précautions |
|
Directive 67/548/EEC[6]
|
T
|
C
|
|
Symboles :
T : Toxique
C : Corrosif
Phrases R :
R23 : Toxique par inhalation.
R35 : Provoque de graves brûlures.
Phrases S :
S9 : Conserver le récipient dans un endroit bien ventilé.
S26 : En cas de contact avec les yeux, laver immédiatement et abondamment avec de l’eau et consulter un spécialiste.
S36 : Porter un vêtement de protection approprié.
S45 : En cas d’accident ou de malaise, consulter immédiatement un médecin (si possible, lui montrer l’étiquette).
|
| Phrases R : 23, 35, |
| Phrases S : 9, 26, 36, 45, |
|
Transport[6]
|
Numéro ONU :
1859 : TÉTRAFLUORURE DE SILICIUM COMPRIMÉ
|
|
NFPA 704
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SIMDUT[7]
|
  
A, D1A, E,
A : Gaz comprimé
température critique = -14,2 °C
D1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats graves
Transport des marchandises dangereuses : classe 2.3
E : Matière corrosive
Transport des marchandises dangereuses : classe 8
Divulgation à 1,0% selon la liste de divulgation des ingrédients
|
|
SGH[6]
|
  
Danger
H280, H314, H330, EUH071, P260, P280, P303, P304, P305, P315, P338, P340, P351, P353, P361, P403, P405,
H280 : Contient un gaz sous pression; peut exploser sous l'effet de la chaleur
H314 : Provoque de graves brûlures de la peau et des lésions oculaires
H330 : Mortel par inhalation
EUH071 : Corrosif pour les voies respiratoires
P260 : Ne pas respirer les poussières/fumées/gaz/brouillards/vapeurs/aérosols.
P280 : Porter des gants de protection/des vêtements de protection/un équipement de protection des yeux/du visage.
P303 : EN CAS DE CONTACT AVEC LA PEAU (ou les cheveux):
P304 : EN CAS D’INHALATION:
P305 : EN CAS DE CONTACT AVEC LES YEUX:
P315 : Consulter immédiatement un médecin.
P338 : Enlever les lentilles de contact si la victime en porte et si elles peuvent être facilement enlevées. Continuer à rincer.
P340 : Transporter la victime à l'extérieur et la maintenir au repos dans une position où elle peut confortablement respirer.
P351 : Rincer avec précaution à l’eau pendant plusieurs minutes.
P353 : Rincer la peau à l’eau/se doucher.
P361 : Enlever immédiatement les vêtements contaminés.
P403 : Stocker dans un endroit bien ventilé.
P405 : Garder sous clef.
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|
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire.
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Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF4 qui se présente sous forme d'un gaz incolore dont la plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre -90 °C et -86 °C.
Utilisation
En microélectronique, le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l'implantation ionique, et, en conjonction avec le silane (SiH4), pour le dépôt de silice fluorée par PECVD[8].
Références
- ↑ a et b TETRAFLUORURE DE SILICIUM, fiche de sécurité du Programme International sur la Sécurité des Substances Chimiques, consultée le 9 mai 2009
- ↑ Masse molaire calculée d’après Atomic weights of the elements 2007 sur www.chem.qmul.ac.uk.
- ↑ Properties of Various Gases sur flexwareinc.com. Consulté le 12 avril 2010
- ↑ (en) David R. Lide, Handbook of chemistry and physics, CRC, 2008, 89e éd., 2736 p. (ISBN 978-1-4200-6679-1), p. 10-205
- ↑ a et b The SiF4 Structure sur http://cst-www.nrl.navy.mil/. Consulté le 17 décembre 2009
- ↑ a, b et c Entrée de « Silicon tetrafluoride » dans la base de données de produits chimiques GESTIS de la IFA (organisme allemand responsable de la sécurité et de la santé au travail) (allemand, anglais) (JavaScript nécessaire)
- ↑ « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme québécois responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
- ↑ Tétrafluorosilane, SiF4, Propriétés physiques des gaz, sécurité, FDS, compatibilité avec les matériaux, équilibre gaz-liquide, enthalpie, masse volumique, viscosité, inflammabilité, propriétés de transport, air liquide, consulté le 7 septembre 2009
Catégories :
- Composé du silicium
- Produit chimique toxique
- Produit chimique corrosif
- Produit chimique qui réagit avec l'eau
- Fluorure
- Gaz inorganique
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2010.
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