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Tétrafluorure de silicium
Tétrafluorure de silicium 
Structure du tétrafluorure de siliciumGénéral Synonymes Tetrafluorosilane No CAS No EINECS SMILES InChI Apparence gaz incolore, d'odeur acre.[1] Propriétés chimiques Formule brute SiF4 Masse molaire 104,0791 g∙mol-1
F 73,02 %, Si 26,98 %,Propriétés physiques T° fusion -90 °C T° ébullition -86 °C Solubilité dans l'eau : réaction[1] Masse volumique 1 660 kg/m3 à -95 °C Précautions Transport - 1859 NFPA 704 SIMDUT[2] 
Unités du SI & CNTP, sauf indication contraire. Le tétrafluorure de silicium, également appelé tétrafluorosilane, est un composé du silicium de formule SiF4 qui se présente sous forme d'un gaz incolore dont la plage d'existence à l'état liquide est singulièrement étroite : entre -90 °C et -86 °C.
Utilisation
Le tétrafluorure de silicium est utilisé dans l'implantation ionique, et, en conjonction avec le silane (SiH4), pour le dépôt par plasma de silice fluorée[3].
Références
- ↑ a et b TETRAFLUORURE DE SILICIUM, fiche de sécurité du Programme International sur la Sécurité des Substances Chimiques, consultée le 9 mai 2009
- ↑ « Tétrafluorure de silicium » dans la base de données de produits chimiques Reptox de la CSST (organisme canadien responsable de la sécurité et de la santé au travail), consulté le 25 avril 2009
- ↑ [1], air liquide, consulté le 7 septembre 2009
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