Pompes à vide

Pompes à vide

Pompe à vide

Une pompe à vide est un outil permettant d'extraire l'air ou tout autre gaz contenu dans une enceinte close, afin d'en diminuer la pression.

Sommaire

Quels gaz

Les gaz à évacuer sont d'une part ceux présents au début de la mise sous vide (généralement à la pression atmosphérique) et d'autre part ceux émanant de phénomènes tels que le dégazage naturel des parois sous vide (voire de zones qui sont chauffées), des fuites éventuelles (réelles ou virtuelles), de la perméabilité des joints ou des parois, voir d'introduction volontaire de gaz (procédés de fabrication ou de traitement, dans le domaine des semi-conducteurs par exemple), de l'évaporation de graisse.

Type de vide

Le vide « parfait » n'existe pas, il s'agit en fait d'une très faible pression ; un vide considéré comme excellent (10-8 Pa) contient encore 2,4 millions de molécules par centimètre cube à 294 K.

Il existe différents types de pompes à vide, pour atteindre différentes gammes de pression. Pour décrire la qualité du vide, on distingue 4 domaines qui caractérisent la quantité de matière restante par rapport à un volume. À chacun de ces domaines correspond une gamme d'appareils.

Le vide est mesuré en Pascal (Pa, unité du système international) ou plus couramment dans l'industrie en millibar (mbar), 1 mbar = 100 Pa, ou en Torr.

Domaine de vide Pression en mbar molécules par cm³ libre parcours moyen d'une molécule
Vide primaire ou industriel 1000 - 1 1019 - 1016 0,1 - 100 μm
Vide moyen 1 - 10-3 1016 - 1013 0,1 - 100 mm
Vide poussé ou vide secondaire 10-3 - 10-7 1013 - 109 10 cm - 1 km
Ultravide 10-7 - 10-12 109 - 104 1 km - 105 km
Ultra-ultravide <10-12 <104 >105 km

Type de pompes

Vue en coupe d'une pompe à vide turbomoléculaire.

Les technologies les plus courantes pour les pompes à vide sont :

  • pompes à palettes (lubrifiées ou sèches), pour vide primaire,
  • pompe à piston, pour vide primaire,
  • pompe à anneau liquide, pour vide primaire,
  • pompe à membrane, pour vide primaire,
  • éjecteurs à vide, pour le vide grossier, utilisant la vapeur ou un gaz comprimé,
  • pompes turbomoléculaires, moléculaires et hybrides, pour vide secondaire, elle peuvent être conventionnelles sur roulements à billes ou sans contact sur paliers magnétiques,
  • pompe à diffusion, pour vide secondaire,
  • pompe Roots, pour vide primaire,
  • piège à froid, ou pompe cryogénique.
  • pompe sèche (sans lubrifiant), pour vide primaire.
  • pompe ionique, pour l'ultravide.

Historique

Voir aussi

Liens externes

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