Microsystème électromécanique

Engrenages MEMS. La barre blanche donne l’échelle : 0,5 mm.

Un microsystème électromécanique est un microsystème comprenant un ou plusieurs éléments mécaniques, utilisant l’électricité comme source d’énergie, en vue de réaliser une fonction de capteur et/ou d’actionneur avec au moins une structure présentant des dimensions micrométriques ; et la fonction du système est en partie assurée par la forme de cette structure. Le terme systèmes microélectromécaniques est la version française de l’acronyme anglais MEMS (Microelectromechanical systems). En Europe, le terme MST pour MicroSystem Technology est également d’usage, bien que nettement moins répandu.

Issus de la technologie de la micro-électronique, les MEMS font appel pour leur fabrication aux microtechnologies, qui permettent une production à grande échelle. Ils sont utilisés dans des domaines aussi variés que l’automobile, l’aéronautique, la médecine, la biologie, les télécommunications, ainsi que dans certaines applications « de tous les jours » telles que certains vidéoprojecteurs, téléviseurs haute-définition ou coussins gonflables de sécurité pour automobiles (« Airbags »).

Histoire

Les MEMS ont été développés au début des années 1970 en tant que dérivés de la micro-électronique et leur première commercialisation remonte aux années 1980 avec des capteurs de pression sur silicium qui remplacèrent rapidement les technologies plus anciennes et constituent encore une part importante du marché des MEMS^[1]. Depuis lors les MEMS ont connu un important développement et restent encore en plein essor.

C'est un domaine de recherche relativement récent qui combine l'utilisation des techniques électroniques^[2], informatiques^[3], chimiques, mécaniques^[4], optiques^[5]. Les MEMS sont le plus souvent à base de silicium, mais on utilise également d'autres matériaux suivant l'adéquation de leurs propriétés physiques à certaines applications, comme les métaux, les matériaux piézoélectriques, divers polymères, etc^[6].

Face au développement de ce domaine, on a vu apparaitre des termes dérivés pour désigner des MEMS spécialisés:

• dans le domaine optique on utilise le terme MOEMS (Micro Opto Electro Mechanical Systems) ou Optical MEMS,
• dans le domaine biologique on utilise bioMEMS.

On notera aussi un nouveau terme, NEMS (Nano Electro Mechanical Systems), Nanosystèmes en français, désignant des structures semblables aux MEMS mais de taille sub-micrométrique.

Technologie de fabrication

Les technologies de fabrication des microsystèmes dérivent assez largement de celles de la microélectronique. Des Wafers de silicium sont généralement utilisés comme substrat, et les microsystèmes sont produits par une succession d'étapes d'épitaxie, de résinage, de photolithographie et d'attaque sèche ou humide.

Les principales spécificités des technologies de microsystèmes, comparées à la microélectronique, sont liées à la réalisation de parties mobiles, donc relativement détachées du substrat, ce qui s'obtient généralement par recours à une couche sacrificielle.

Composition

Les MEMS sont composés de mécanismes mécaniques (résonateurs, poutres, micromoteurs, etc.) réalisés sur silicium à l’échelle micrométrique. Ces différents éléments mécaniques sont mis en mouvement (actionnés) grâce aux forces générées par des transducteurs électromécaniques. Ceux-ci sont alimentés par des tensions produites avec des circuits électroniques avoisinants. Les transducteurs électromécaniques jouent alors le rôle de l’interface entre les domaines mécanique et électrique. Les transducteurs électrostatiques ou capacitifs y sont utilisés le plus souvent, bien que l’on puisse rencontrer des interfaces électromécaniques basées sur des phénomènes magnétiques et thermomécaniques.

Exemples d'application

Si les laboratoires ont imaginé et produit un nombre immense de MEMS, avec des applications allant de l'électronique à la biologie, les plus importants (industriellement) sont :

• les injecteurs pour imprimantes à jet d'encre ;
• les micro-miroirs qui définissent les pixels de certains modèles de vidéoprojecteurs ;
• la première projection cinéma numérique publique d'Europe (2000) réalisée par Philippe Binant reposait sur l'utilisation d'un Optical MEMS développé par TI^[7] ;
• les accéléromètres destinés à des domaines divers tels que l'automobile ou plus récemment le jeu vidéo, comme la manette à détection de mouvement de la console de jeu Wii de Nintendo^[8], ou le téléphone iPhone d'Apple ;
• les vannes de contrôle microfluidiques ;
• les micro-relais, le plus souvent à actionnement capacitif^[9];
• les émetteurs/récepteurs acoustiques, comme les cMUTs (capacitifs) ou les pMUTs (piézoélectriques) ;
• les capteurs de pression ;
• les filtres électromécaniques, qui isolent une fréquence du signal d'entrée en utilisant la résonance d'un système masse-ressort.

Notes et références

Voir aussi

Articles connexes

• Microsystème
• Poussière intelligente
• Procédé LIGA, un procédé de fabrication de MEMS.

Liens externes

• Site sur les nanosystèmes étudiés à l'IMEP, Grenoble
• Site sur les MEMS pour les étudiants (cours, travaux pratiques, exemples).
• Des vidéos sur les micro & nanosystèmes et leurs applications
• MIGAS 2010, Ecole d'été sur les MEMS & NEMS, Autrans / Grenoble
• MEMS

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