MOEMS
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Microsystème opto-électro-mécanique
Microsystèmes opto-électro-mécaniques (MOEMS, Micro-Opto-Electro-Mechanical systems) forment un sous-ensemble des systèmes micro-électro-mécaniques (MEMS, Micro-Electro-Mechanical Systems). Les MOEMS sont capables de capter ou de manipuler des signaux optiques à une échelle très petite, utilisant des systèmes mécaniques ou électriques intègres.
Quelques exemples de MOEMS:
- Interrupteurs optiques
- Connecteurs optiques
- Matrices de micro-miroirs, ou DMD (Digital Micromirror Device) qui définissent les pixels : la première projection cinéma numérique publique d'Europe effectuée par Philippe Binant, en 2000, reposait sur l'utilisation d'un MOEMS développé par TI.
- VCSEL à longueur d'onde variable (Diode laser à cavité verticale émettant par la surface)
- Microbolomètres (bolomètre à l'échelle micromètrique)
La technologie de fabrication des MOEMS par la technologie de microusinage usuelle en utilisant des matériaux comme silicium, silice (SiO2), nitrure de silicium et arséniure de gallium (GaAs).
Sources
- Introduction à la Micro Optique [1] : Présentation descriptive de l'historique, des principaux concepts de bases et des principales technologies de fabrication des microsystèmes optiques, Consortium « Optique pour l'ingénieur» : [2], Allain trouillet, cours en ligne, 2008
- Applications de la micro-optique [3]: présentation descriptive des applications principales des microsystèmes optiques classées à la fois en fonction des propriétés optiques mises en jeu et des domaines d'application envisagés, consortium « Optique pour l'ingénieur» : [4], Allain trouillet, cours en ligne, 2008
Voir aussi
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Catégorie : Micro-électronique
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2010.
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