Dépôt de couche mince

Dépôt de couche mince

Le dépôt de couche mince est une technique qui permet de déposer une couche mince ou film mince de matériau sur un substrat ou sur des couches déposées antérieurement. Le terme « mince » est relatif, mais la plupart des techniques de dépôts permettent d'atteindre une épaisseur de couche de quelques dizaines de nanomètres. Certains, comme l'épitaxie par jet moléculaire, permettent de déposer une seule couche atomique à la fois.

Cette technique est très utile pour créer des composés impossible à fabriquer par chimie en masse (procédés traditionnels, tels que la fonderie). On peut notamment citer dans la fabrication optique (pour des revêtements réfléchissants ou anti-reflet, par exemple), l'électronique (couches d'isolants, de semi-conducteurs et de conducteurs des circuits intégrés), l'emballage (feuilles de PET recouvertes d'aluminium), et l'art contemporain (voir notamment les travaux de Larry Bell). Des processus similaires sont parfois utilisés quand l'épaisseur n'est pas critique. C'est le cas, par exemple, de la purification du cuivre par galvanoplastie, et le dépôt de silicium et d'uranium enrichi par un processus similaire à une CVD, à la suite d'un processus en phase gazeuse.

Les techniques de déposition se répartissent en deux grandes catégories, selon que le processus est essentiellement chimique ou physique.

Impossible à synthétiser ?

La thermodynamique fixe un certain nombre de règles quant à la possibilité de créer un composé cristallin. Ces règles passent pour être absolues et n'être entravées que quand "par chance", la cinétique amenant à la destruction du composé vers le composé stable est lente, laissant un répit temporaire.

Les films minces, eux, contestent à un certain nombre de reprises ces règles grâce une limitation : la quantité. Les règles s'appliquent sur des dimensions infinies (ie le "bord" n'a pas d'effet sur l'ensemble). Les couches minces, elles, sont quasiment uniquement en deux dimensions. Rendant ainsi une certaine flexibilité dans les résultats de synthèse.

Citons YBCO, un célèbre composé supraconducteur, les quasi-totalités des couches d'un circuit intégré, les traitement autonettoyant ou basse émissivité des verres de construction...

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