DRIE
- DRIE
-
Gravure ionique réactive profonde
La gravure ionique réactive profonde (en anglais Deep Reactive Ion Etching DRIE) est un procédé de gravure ionique réactive fortement anisotrope utilisé en micro-électronique. Il sert à créer des trous et des tranchées profondes dans des wafers avec un rapport largeur/hauteur de 20/1 ou plus. Cette technique a été développée pour les microsystèmes électromécaniques (MEMS) qui nécessitent ce type de fonctionnalités mais est aussi utilisée pour creuser des tranchées pour les condensateurs à haute densité de la DRAM.
Processus cryogénique et Bosch
Il existe deux principales techniques de DRIE à haut taux : cryogénique et Bosch. Les deux procédés permettent de fabriquer des murs parfaitement verticaux mais souvent les murs sont légèrement évasés, par exemple à 88° ou 92° : on parle alors de parois « rétrograde ». Il existe un autre mécanisme appelé passivation des parois : des groupes fonctionnels SiOxFy, produit à partir d'hexafluorure de soufre et d'oxygène gazeux, condensent sur les parois latérales et les protègent de la gravure. En combinant tous ces procédés, on peut alors réaliser des structures verticales profondes.
Cette section est vide, pas assez détaillée ou incomplète. Votre aide est la bienvenue !
Applications
Cette section est vide, pas assez détaillée ou incomplète. Votre aide est la bienvenue !
Portail des micro et nanotechnologies
Catégorie : Micro-électronique
Wikimedia Foundation.
2010.
Contenu soumis à la licence CC-BY-SA. Source : Article DRIE de Wikipédia en français (auteurs)
Regardez d'autres dictionnaires:
Drie — Drie, v. t. [See {Dree}.] To endure. [Obs.] [1913 Webster] So causeless such drede for to drie. Chaucer. [1913 Webster] … The Collaborative International Dictionary of English
DRIE — Reaktives Ionentiefenätzen (engl. Deep Reactive Ion Etching, DRIE), eine Weiterentwicklung des reaktiven Ionenätzen (RIE), ist ein hoch anisotroper Trockenätzprozess für die Herstellung von Mikrostrukuren in Silicium mit Aspektverhältnissen (das… … Deutsch Wikipedia
drie — obsolete variant of dree I * * * drie obs. form of dree v., dry … Useful english dictionary
Drie Gezusters Budget Hostel — (Гронинген,Нидерланды) Категория отеля: Адрес: Grote Markt 36/39, 9711 LV Грон … Каталог отелей
Drie Weken Huisknecht — Directed by Walter Smith Written by Henk Bakker (play), Walter Smith (writer) Release date(s) March 17, 1944 Running time … Wikipedia
Drie Eilandenplan — Der Drei Inseln Plan (niederländisch: Drie Eilandenplan) war das Vorhaben, die drei niederländischen Inseln Walcheren, Noord Beveland und Zuid Beveland durch die Anlage zweier Dämme miteinander zu verbinden. Rijkswaterstaat hatte diesen Plan… … Deutsch Wikipedia
drie — v. a. == endure. Marg. 52; [dreeg]. Ritson’s AS. viii. 157. AS. dreogan … Oldest English Words
De Drie Dorpen — (Ankeveense Rade,Нидерланды) Категория отеля: 3 звездочный отель Адрес: Cannenburgerw … Каталог отелей
De Drie Scheepkens Bed & Breakfast — (Берген оп Зом,Нидерланды) Категория отеля: Адрес: Engelsestraat … Каталог отелей
De Drie Linden — (Nieuw Beijerland,Нидерланды) Категория отеля: Адрес: Zuidzijdsedijk 29, 3264 LG Nie … Каталог отелей
