Aussi appelée lithographie électronique. En anglais : Electron Beam Lithography (EBL).
Voir Article détaillé Lithographie à faisceau d'électrons
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lithographie électronique — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
lithographie électronique à balayage — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
lithographie électronique de projection — elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron projection lithography; electron beam projection lithography vok. Elektronenbildprojektion, f; Elektronenstrahlprojektionsverfahren, n rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
installation de lithographie électronique — elektronpluoštis litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam aligner; electron beam exposer; electron beam writer vok. Elektronenstrahlbelichtungsanlage, f; Elektronenstrahlschreiber, m rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
masque chromé pour lithographie électronique — chromuota elektronpluoštės litografijos kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e chrome mask; electron beam chrome mask vok. Chromschablone für Elektronenstrahllithografie, f rus. шаблон со слоем хрома для электронно лучевой… … Radioelektronikos terminų žodynas
installation de lithographie électronique de projection — elektronpluoštės litografijos projektorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e beam lithography projector; electron beam lithography projector vok. Elektronenbildprojektor, m; Elektronenstrahlbildprojektor, m rus. установка… … Radioelektronikos terminų žodynas
équipement de lithographie électronique à enregistrement direct — elektronpluoštis plokštelės tiesioginės litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e beam direct write on wafer equipment vok. Elektronenstrahl Direktschreiberanlage, f rus. установка электронно лучевой… … Radioelektronikos terminų žodynas
équipement de lithographie électronique de projection avec réduction d'image — mažinamasis elektronpluoštis projekcinės litografijos įrenginys statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reducing electron beam projection equipment vok. Elektronenstrahlprojektionsanlage mit Bildverkleinerung, f rus. установка… … Radioelektronikos terminų žodynas
masque de lithographie électronique — elektronpluoštės litografijos kaukė statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. e beam mask; electron beam reticle vok. Maske für Elektronenstrahllithografie, f rus. шаблон для электронно лучевой литографии, m pranc. masque de… … Radioelektronikos terminų žodynas
Lithographie a faisceau d'electrons — Lithographie à faisceau d électrons L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la… … Wikipédia en Français
