SU8
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SU-8
Le SU-8 est une résine photosensible négative couramment utilisée dans la fabrication de micro-systèmes. Il s'agit d'un polymère très visqueux qui peut être tourné ou étalé sur une épaisseur allant de 1 micromètre à 2 millimètres. Elle peut aussi être utilisée pour réaliser des motif de structures à rapport d'aspect élevé (> 20)[1]. Son pic d'absorption maximale se situe dans l'ultraviolet, pour une longueur d'onde de 365 nm. Lorsqu'elle est exposée, les longues chaînes moléculaires de la résine SU-8 réticulent ce qui solidifie le matériau.
La SU-8 est principalement utilisée dans la fabrication de composants microfluidiques ou de MEMS. Il s'agit également de l'un des matériaux les plus bio-compatibles, ce qui explique pourquoi il est souvent utilisé dans les bio-MEMS.
Liens
THE SU8 HOMEPAGE
SU-8: Thick Photo-Resist for MEMS
Fournisseurs: Microchem, Gersteltec
Notes et références
- (en) Cet article est partiellement ou en totalité issu d’une traduction de l’article de Wikipédia en anglais intitulé « SU-8 photoresist ».
Catégories : Polymère | Science des matériaux
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2010.
Contenu soumis à la licence CC-BY-SA. Source : Article SU8 de Wikipédia en français (auteurs)
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